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極(ji)限(xian)壓強：5×10-7 Pa
最大(da)前(qian)級(ji)壓(ya)力：100Pa
電機(ji)轉速(su)：24000r/min
啟動(dong)時(shi)間：＜10min

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抽氣速率：800L/s
極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前(qian)級(ji)壓力(li)：100Pa
電機轉(zhuan)速(su)：24000r/min
啟(qi)動時間(jian)：＜10min

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抽(chou)氣(qi)速(su)率(lv)：1400L/s
極限(xian)壓強(qiang)：5×10-7 Pa
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抽(chou)氣速率：1400L/s
極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前級壓(ya)力(li)：100Pa
電機(ji)轉速：24000r/min
啟(qi)動時(shi)間(jian)：＜1...

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抽(chou)氣速率(lv)：2000L/s
極(ji)限壓(ya)強(qiang)：5×10-7 Pa
最(zui)大(da)前級(ji)壓力：100Pa
電機(ji)轉(zhuan)速：24000r/min
啟動時(shi)間：＜1...

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抽(chou)氣速率(lv)：2000L/s
極限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前(qian)級壓(ya)力(li)：100Pa
電(dian)機(ji)轉速：24000r/min
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抽氣(qi)速率：4000L/s
極(ji)限(xian)壓(ya)強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前級壓力(li)：100Pa
電機(ji)轉(zhuan)速：24000r/min
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